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LIVRES NUMÉRIQUES
Helium Ion Microscopy - ARMIN GÖLZHÄUSER - GREGOR HLAWACEK

Helium Ion Microscopy

Titre de l'éditeur : Helium Ion Microscopy

ARMIN GÖLZHÄUSER
GREGOR HLAWACEK

 
234,02 $
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EN SAVOIR PLUS Résumé

This book covers the fundamentals of Helium Ion Microscopy (HIM) including the Gas Field Ion Source (GFIS), column and contrast formation. It also provides first hand information on nanofabrication and high resolution imaging. Relevant theoretical models and the existing simulation approaches are discussed in an extra section. The structure of the book allows the novice to get acquainted with the specifics of the technique needed to understand the more applied chapters in the second half of the volume. The expert reader will find a complete reference of the technique covering all important applications in several chapters written by the leading experts in the field. This includes imaging of biological samples, resist and precursor based nanofabrication, applications in semiconductor industry, using Helium as well as Neon and many more. The fundamental part allows the regular HIM user to deepen his understanding of the method. A final chapter by Bill Ward, one of the pioneers of HIM, covering the historical developments leading to the existing tool complements the content.

Détails
Prix : 234,02 $
Catégorie :
Auteur :  ARMIN GÖLZHÄUSER
GREGOR HLAWACEK
Titre : Helium Ion Microscopy
Date de parution : octobre 2016
Éditeur : LIVRES NUMÉRIQUES DIVERS
Sujet : NUL DIVERS
ISBN : 9783319419909 (33194199011)
Référence Renaud-Bray : 2180763
No de produit : 2180763
Droits numériques
Format : PDF
Disponibilité : Canada, consultez la liste des pays autorisés.
Gestion des droits numériques : Adobe DRM
Entrepôt numérique : NUMILOG
Nombre d'appareils autorisés : 3
Nombre de copier/coller : 0
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Helium Ion Microscopy , GÖLZHÄUSER , ARMIN*HLAWACEK , GREGOR
© LIVRES NUMÉRIQUES DIVERS 2016